半導体工場の早期復旧を支援
高度化・微細化が進む半導体製造は、災害や事故で一度停止すると、製造ラインやサプライチェーン全体に深刻な影響を及ぼします。さらに、製造工程では有害な化学物質やガスが使用されるため、部品や装置の汚染リスクも高く、適切な除去が不可欠です。
リカバリープロでは、初動対応からクリーンルームの除染・乾燥・機能検証、試験・証明書発行までを一貫対応。お客様の操業停止期間を最小限に抑え、迅速かつ安全な業務再開を実現します。
確かな技術で被害を最小化
高精度なノウハウで迅速かつ安心の復旧
汚染評価から証明書発行まで一貫対応します。
リカバリープロでは、高精度かつ特殊なノウハウによる対応が可能です。
- 汚染評価：最先端の検査機器で部品・装置の汚染を診断し、必要に応じてドイツ・ミュンヘンの研究所で高度試験を実施
- 汚染除去：独自の洗浄剤とプロセスにより、クリーンルーム基準を満たすレベルで除染を実施
- 修理・部品交換：専門技術者が機器修理・新規部品製造に対応
- 証明書発行：SEMI S12ガイドラインや顧客仕様に基づく試験を行い、試験報告書・適合宣言書を提出可能